GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢
作者:标准资料网
时间:2024-05-20 22:28:32
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基本信息
标准名称: | 电子工业用气体 磷化氢 |
英文名称: | Gas for electronic industry-Phosphine |
中标分类: | |
ICS分类: | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
替代情况: | 被GB/T 14851-2009代替 |
发布部门: | 国家技术监督局 |
发布日期: | 1993-01-02 |
实施日期: | 1994-10-01 |
首发日期: | 1993-12-30 |
作废日期: | 2010-05-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
起草单位: | 化工部光明化工研究所 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 1900-01-01 |
页数: | 平装16开, 页数:13, 字数:22千字 |
适用范围
本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。
前言
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目录
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所属分类: 化工技术 化工产品 工业气体
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